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平成15年度新機能性材料のNEMSへの展開報告書
[発行機関:社団法人日本機械工業連合会 ・ 財団法人マイクロマシンセンター]
[発行年:H16(2004)] [ページ数: 208 ] [識別:15 先端-5 ]
 
平成16年度MEMSの信頼性評価技術に関する調査研究報告書
[発行機関:社団法人日本機械工業連合会 ・ 財団法人マイクロマシンセンター]
[発行年:H17(2005)] [ページ数: 141 ] [識別:16 先端-3 ]
 
平成17年度MEMSにおける規格化戦略に関する調査研究報告書
[発行機関:社団法人日本機械工業連合会 ・ 財団法人マイクロマシンセンター]
[発行年:H18(2006)] [ページ数:148 ] [識別: 17標準化-4 ]