平成17年度 MEMS技術を用いた熱赤外センサの実用化に関する調査研究報告書

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平成17年度MEMS技術を用いた熱赤外センサの実用化に関する調査研究報告書
 
[発行機関:社団法人日本機械工業連合会 
  ・ 財団法人 資源探査用観測システム・宇宙環境利用研究開発機構 (この機関の報告書一覧)]
[発行年:H18(2006)]  [ページ数:93]  [識別:17先端-9]
 
[テーマ別分類: 技術-高度・先端技術、新素材・半導体・デバイス、生命工学、ナノテクノロジー、ゲノム、MEMS ]
[業種別分類: 先端・複合・新技術開発機器-複合・システム機器]
 
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