| 新機能性材料のNEMSへの展開報告書 |
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| [発行機関：社団法人 日本機械工業連合会 ・ 財団法人 マイクロマシンセンター （この機関の報告書一覧）] |
| [発行年：H16（2004）] [ページ数：208] [識別：15先端-5] |
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| [テーマ別分類： 技術－高度・先端技術、新素材・半導体・デバイス・・・・] |
| [業種別分類： 先端・複合・新技術開発機器－新素材・材料（光ファイバー、ファインセラミックス・・・・）] |
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