新機能性材料のNEMSへの展開報告書 |
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[発行機関:社団法人 日本機械工業連合会 ・ 財団法人 マイクロマシンセンター (この機関の報告書一覧)] |
[発行年:H16(2004)] [ページ数:208] [識別:15先端-5] |
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[テーマ別分類: 技術-高度・先端技術、新素材・半導体・デバイス・・・・] |
[業種別分類: 先端・複合・新技術開発機器-新素材・材料(光ファイバー、ファインセラミックス・・・・)] |
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