平成16年度MEMSの信頼性評価技術に関する調査研究報告書 |
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[発行機関:社団法人 日本機械工業連合会 ・ 財団法人 マイクロマシンセンター (この機関の報告書一覧)] |
[発行年:H17(2005)] [ページ数:141] [識別:16先端-3] |
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[テーマ別分類: 技術-高度・先端技術、新素材・半導体・デバイス、生命工学、ナノテクノロジー、ゲノム、] |
[業種別分類: 先端・複合・新技術開発機器-複合・システム機器 及び 先端・複合・新技術開発機器-新素材・材料 ] |
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